电子洁净厂房给水管道要求

日期:2022-07-05 点击: 491 次


纯水主要应用于各种电子产品的清洗,纯水的使用可以避免水中杂质对电子产品的污染。工艺冷却水主要应用于各种工艺设备的冷却。博泰小编带大家了解电子洁净厂房给水管道要求有哪些。

 

一、工艺冷却水管道的选择


半导体、TFT-LCD等行业的工艺冷却水系统为避免工艺设备冷却盘管的结垢及堵塞,对工艺冷却水水质提出了要求。主要考虑两个方面的要求,一方面是对水质的要求;另一方面是对管道腐蚀的要求。

 

1、不锈钢管道

 

根据工艺冷却水的水质要求,SS304不锈钢管即可满足要求,但是半导体、TFT行业通常采用纯水制备过程中产生的反渗透(RO)出水作为工艺冷却水的补充水源,而RO出水根据纯水制备工艺流程的不同其酸碱度也有所不同。当水的pH值呈中性或弱碱性时,可采用SS304不锈钢,当水的pH值呈酸时,需采用抗酸性好的SS304L不锈钢。

 

2、塑料管道

根据工艺冷却水的水质要求,PVC管道即可满足要求。但塑料管道需注意工作压力的问题,由于工艺设备内的冷却管道管径小而造成了较大的水头损失,故而,工艺冷却循环水系统的工作压力较高,在管道的选择时应根据应力计算确定管道的压力等级。特别需注意的一点是管道的压力等级并不等于设计管道的允许工作压力。

 

二、纯水管道的选择

 

电子超纯水通常为电阻率>15 MΩ·cm(25℃)的纯水,而此时电阻率已经不是重要的因素,需根据其他指标的要求进行具体分析。

 

1、管材性能比较

 

主要应用的管道有Clean-PVC管、洁净PP管、PVDF管几种。Clean-PVC管采用耐冲击硬质聚氯乙烯制造,其比普通PVC管含有较少的添加剂。从而减小了管道内壁的粗糙度。洁净PP管材质为(β)-PP-H均聚型聚丙烯,具有非常均一、致密的结构和出众的抗冲击强度。其高结晶度确保了极好的耐化学品性能,二氧化钛色素的使用进一步提高了此特性。其内壁粗糙度及污染物的析出性能与Clean-PVC接近。

 

2、管材选择    

 

Clean-PVC管在纯水中得到了广泛的应用。其优点在于由于得到了广泛的应用,交货周期较短,安装技术也比较简单,通常进行半天的教室和现场培训即可。PVC管路系统失效主要是粘结质量不好所造成的,PVC的连接方法主要是胶水粘接,这要求胶水能使粘接部位的表面软化,软化部位然后被压紧,它的粘接质量同操作人员的技术的相关性非常大,粘接要求有足够的胶水被涂上并且均匀性要求非常好,管路和管件的粘接部位要非常干净且光滑,并且管路要求完全地插入管件。

 

 

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